胜佰德电子半导体行业气动隔膜泵解决方案

SANDPIPER 胜佰德,为半导体与电子制造中的化学品转移、浆料回收和水处理提供适配工况的流体输送选择。

从制造环节的化学介质转移,到浆料回收和配套水处理,SANDPIPER 胜佰德气动隔膜泵可根据介质与工艺条件进行配置,支持不同位置的输送需求。

半导体制造对物料输送有哪些要求

半导体与电子制造涉及多种化学介质和含固物料。不同工艺环节对材料兼容性、泄漏防护和运行稳定性的要求各不相同。选择适合的输送设备,有助于减少物料转移对生产衔接的影响,为后续工艺提供支持。
气动双隔膜泵(AODD)的选型,需要从介质特性和实际运行条件出发,同时考虑接液材料、颗粒通过能力、流量压力及维护需求。

适应含固与磨蚀性浆料

颗粒大小、含固量和沉降特性会影响输送表现。适配的流道与止回部件,有助于应对颗粒通过和磨蚀带来的挑战;维护方案也应结合物料特性制定。

应对化学介质的腐蚀性

化学品的成分、浓度和温度会影响接液材料的适用性。泵体、隔膜、阀球和阀座需要相互匹配,以满足具体介质的输送要求。

关注泄漏防护与操作安全

在输送腐蚀性或危险化学品时,泵的密封结构与隔膜配置是重要的选型因素。结合现场防护要求评估泄漏风险,有助于减少人员接触介质及现场维护的负担。

匹配工艺运行条件

目标流量、出口压力、吸入条件及可用气源共同决定泵的工作条件。对流量波动敏感的工艺,还应评估脉动控制需求,使输送方案与下游设备相匹配。
涉及高纯化学品或晶圆直接接触的工艺时,还需单独确认洁净度及污染控制要求。材料耐腐蚀性不能替代高纯应用验证。

胜佰德气动隔膜泵

外置气阀和导向装置

电动机械(无需空气)

 
耐磨膜片

高达15,000cp

 
加粗推杆

湿条件下 - 8.5米 干燥条件下 - 5.5米

 
 
流量最大提高32%

5 hp, 7.5 hp, 10hp

 
耗气量最大降至30%

550 LPM和116 PSI

 
5年有限质保

< 79 dB

产品应用

胜佰德在电子半导体行业的应用

从制造环节的化学介质转移,到浆料回收和配套水处理,SANDPIPER 胜佰德气动隔膜泵可根据介质与工艺条件进行配置,支持不同位置的输送需求。

晶圆制造相关工艺的化学品卸料及转移

在集成电路制造相关的工艺转移环节,胜佰德气动隔膜泵可用于经材料兼容性确认的化学介质输送。根据介质成分、浓度、温度及工艺要求匹配接液配置,为化学品转移提供适用的方案。

浆料输送与回收再利用

将浆料输送至水力旋流分离设备,是物料回收流程中的一个应用环节。胜佰德气动隔膜泵可结合浆料的颗粒、磨蚀性和沉降特性进行选型,并匹配分离设备所需的入口流量与压力。

水回收与水处理

半导体与电子制造的配套水处理环节可能涉及含固或磨蚀性浆液。胜佰德气动隔膜泵可用于适配工况下的流体收集与转移,帮助连接生产排液、回收及后续处理环节。

电子与精密仪器制造中的介质输送

电子及精密仪器制造中的酸类和其他危险化学介质,对材料兼容性与泄漏防护提出要求。胜佰德可围绕实际介质及现场运行条件,提供相应的隔膜泵配置选择。

了解胜佰德半导体泵

重载型球阀泵

适用于磨蚀性强的弥散性物料,如砂浆,污泥等

重载片阀泵

输送含大颗粒物料(max.70mm 粒径)零残留,无积液自吸能力强

密闭型球阀泵(含破裂报警装置)

无泄露设计,含破裂报警装置,确保环境和人员安全

定制化集成系统

提供多种泵送系统的解决方案

SANDPIPER 胜佰德提供多种气动双隔膜泵配置,服务于化学介质、含固浆料及一般流体的输送需求。通过接液材料、隔膜、止回部件和结构设计的组合,为不同工况提供选型空间。

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